请教各位,我用UMC的工艺自己画了个MIM电容,可用吗
时间:12-12
整理:3721RD
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UMC0.18um mixed 工艺提供的mim电容不是对称结构,我自己画了mim电容以提高匹配性。foundry的人回复我不保证这个能工作。虽然LVS,DRC,RCX都能过,而且后仿也ok,但我还是没底,版上的高手有类似经验吗?
其中上图原来的电容,下图是我自己画的。
应该没有什么问题。
只要你动了人家的东西,foundry 一般都是这样的回答。肯定不会担责的。
符合规则就差不多了。
有的foundry厂是因为专利问题而不能提供某些形状的pcell。
这里细节问题很多,
这个是double-mask MIM(dm)还是single-mask(sm)?
dm MIM要注意上下极板的引出的via数目要大致相等,不要差太多。