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请教工艺问题

时间:12-12 整理:3721RD 点击:
thin metal(Mx)
thin metal (Mz)
thick metal (Mu)
AlRDL (AP)
请教下Mx, Mz, Mu, AlRDL/AP 各代表什么含义. routing的时候如何选择使用那层,或者说一般怎么分配。
多谢~

Mx 应该就是一般金属
Mz 比较厚的金属
Mu 很厚的金属
alrdl 前面的al是铝,rdl是再分布层,表示只能放在最顶层,其它层不能用
一般金属越薄,就能做的越细密,绕线资源就更多,厚金属优点是方块电阻小,抗电迁移更好

多谢
那哪些情况用比较厚的/特别厚的/Al的,哪些应用用比较薄的呢
还是说  这些都不用人为去指定应用(比如哪一层专门做power routing?),而是各层都会被routing signal/clock/power同时用到,由TOOL自动去选择?那么TOOL自动选择又大概遵循怎样的原则呢?

thin metal(Mx) -signal routing
thin metal (Mz) - clock routing
thick metal (Mu) - power routing
AlRDL (AP)       - package routing
  

signal routing除了RDL都可以用。
clock routing一般用2到top-1,double spacing,最好不用厚metal.
power mesh主要用RDL+top,这两层比较厚,电阻小。其他层只是为了连到memory和rail用的。
tool不能自己选,要设定。

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