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MixSignal工艺是不是就多了个MIM?

时间:12-12 整理:3721RD 点击:
MOS的特性一样么?
metal的特性一样么,要是使用finger电容的话,MS和Logic的一样么?

接触过的Foundry ,MOS特性一样。
Logic也可以加一层MIM。
MS有 thick Metal。有rf器件。
finger电容在Spice model的文档中查互联参数。一般是一样的。

MS Process 可能会多的是DNW, Thick metal, HRP. native MOS.
DNW降噪。HRP制作电阻,TM可用来做电感。
电容PIP或者MIM, MIM 是利用后端制程,不影响前段。
基本上MOS spice不会变。
相比逻辑电路,对高频特性和mismatch要求高。可能有多种vt的管子。

直观上可以认为金属互连,开孔等是后道,其他是前道

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