请问现在的工艺下是否可以省去seal ring?
时间:12-12
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或者切断seral ring,不形成环状,可以吗?
应该不可省,是否可以切断不清楚
划片槽要的留出来
尤其是mpw 流片肯定要的, 还有scribe line,用于和其他芯片区分位置啊,
seal ring一般还是方形的, 你可以叫fab帮你加,
这个问题我也想过,scribleline是一定要留出来的,现在的后道工艺都有cmp工艺,每一层之间都没有台阶了,这样的的话那个seal ring还有存在的意义吗?