请问国内有成熟的SOI工艺吗?
时间:12-12
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隔离衬底的,
不知道国内有没有这方面成熟的量产工艺啊?
不知道国内有没有这方面成熟的量产工艺啊?
隔离衬底?
你是指“SIMOX还是Bonding”?
成熟量产SOI线基本空白,
能加工的有中电58所等,
想做啥?