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请问nmos反向后沟道为何有道明显的痕迹

时间:12-12 整理:3721RD 点击:
如图是一个nmos的poly层与diff层照片,按我的理解,由于多晶硅的遮挡,
扩散有源区时多晶硅下面是被挡住的,也就是说,沟道应该看上去和P衬底一样。
但图中明显出现了一个沟道的痕迹。难道是阈值调节注入时形成的?
谁能解释一下,谢谢。

不是,这个比poly窄很多。查了一下,估计是场区阈值阻断注入与沟道区阈值调整注入
造成的浓度差。

这都看得出来的话,那反向解剖芯片的时候都不需要染色了。。。

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