理论上最小的电容是多少？

我看一些文献，其测量的电容值可以小至10E-18 法，即 fF级

从on wafer测量角度来说，
虽然仪器能够测到几个fF量级，
但是这个量级的数据通常不太可靠，
因为随便一点点的寄生就会彻底盖过这个数据。
所以一般100fF以上的数据才是比较可信的。
如果用低频的方法例如LCR meter，这个下限还要再往上调一点，
约为300fF左右。