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clock tree 的VT问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
做tsmc28和16工艺的时候,foundry要求我们在clock tree上用的cell VT类型要一样,或者都是LVT,或者都是ULVT,如果出现混用,就要加严ocv。为什么VT混用就要加严?这个原因是什么?

由同一种implant的工艺偏差变成implant之间的工艺偏差

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