求助:TSMC 0.11工艺 ----请知道的帮忙解答一下!
时间:10-02
整理:3721RD
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请问一下: 1、 TSMC 0.11是铜制程还是铝制程的?还是像UMC那样两者都有?
2、 是不是0.13的缩版?
3、 TSMC 0.11的内核1.1V工作是需要特殊工艺支持吗?
2、 是不是0.13的缩版?
3、 TSMC 0.11的内核1.1V工作是需要特殊工艺支持吗?
1. 我觉得是copper,通常0.13 都是copper制程
2. 通常是的, 90% shrink版
3. 按照design rule来吧,1.1~1.2v都可工作的,不算特殊工艺
这些问题design rule里面都会讲的,以文档为准
台积电0.11有两种process note,一种是全铜另一种是所谓的hybrid:金属3以下是铜,以上是铝。之前hydrid是不开放给一般的客户使用的。
多谢icfbicfb小编和michang5342的热心回复,刚好看到TSMC的hybrid的库,这样就清楚多了!
再问一下,TSMC的全铜制程是所有都是用铜吗?
据说有些铜制程工艺的顶层金属是铝,还有SMIC 0.11工艺是在顶层加一层铝的PAD层。
最上层AP 一般是铝金属,下面都是copper