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顶层由标准铝改为厚铝的疑问

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
在同一个工艺中,将标准铝线改为厚铝时,为什么要增大连接孔即via孔的大小以及间距,请问这能从物理连接上进行解释吗?譬如,标准顶层铝线为0.7um厚,其要求的via1孔大小为0.55*0.55(um*um),孔之间的最小间距为0.55*0.55(um*um),
而,厚铝的顶层铝线为1um厚,其要求的via1孔大小为0.6*0.6(um*um),孔之间的最小间距为0.6*0.6(um*um)。如何从物理连接上进行解释?求大神回答

这有啥好解释的,design rule规定的就这样,你和fab去讨论?

这个~因为我现在要把版图从较薄的金属改为较厚金属,而design rule规定连接的via孔size以及space要变大,就使得所打的via孔个数会严重变少,导致它的寄生电阻比以前要大很多,所允许通过的电流也变小,会影响芯片的性能,所以我想知道via孔size和space需要变大的原因

大孔的通过的电流比以前大的,不至于会影响芯片性能的,

但是由于孔之间的间距增大很多,导致孔的个数可能要减为原来的一半以上,而孔的大小只增大一点点,所以我担心会出问题

0.55 -> 0.6um的变化 我觉得很小

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