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工艺制作中掩膜版问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
在版图中画了15层mask版,而在制作的时候为什么会只需要制作14层mask版,请问这是什么原因?从工艺文件中哪里可以看得出哪些mask版需要制作出来的?望回复

mask和 layout 的layer有一定差别,和foundry,process都有关系, 等你几年后有经验了才能慢慢理解,
做layout的人通常不用管mask的构成, fab说了算就行了

是的,layout中同样的层次使用不同的foundry以及process是会不同,所以为了节省流片费用,肯定要选择制作mask层最少的方案,那怎么才能评估出layout中所画的layer对应的不同工艺会需要制作多少层mask版呢?

你什么工艺什么库, 说实在的省不了太多,顶多几层的样子
要具体看的

旺宏的工艺以及华润上华的工艺,我想要知道如何来评估不同工艺的mask版层数

看design rule啊,里面会讲的
模拟部分有mim,dnw,hrp等选择 ,是可以省一些mask的

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