SMIC130 的METAL SLOT
时间：10-02
整理：3721RD
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SMIC130nm工艺的metal slot有没有经验值啊，求指导，多谢啊
没搞过，没有必要开slot， 金属画细点就行
其实就随意按照电流方向挖几个洞洞就行了大小要完全一样
这个工艺的drc文件中有solt规则检查的，但是用mark layer在金属上slot。我同事从来没有这样做，随意画的也从来没出过什么事情。
mpw 无所谓的，量产时候看下