如何画seal ring?
时间:10-02
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请问各路大虾,如何画芯片上的seal ring? 划片槽结构如何?
some processes have specific requirements for this, you should check out the design documents from foundry...
但是我看不明白,你有画过吗?可以讲详细些吗?谢谢!
看看设计规则就可以
看foundray给的东东
现在FAB都有提供帮助添加的服务,也有文档详细描述画法
一般的工艺厂都会给设计规则的,可以参照规则自己画,也可以自己写个skill文件,以后自己调用就可以了
每个工艺都不一样啊,具体要参照设计规则
6#正解
具体看design rule
assembly isolation + seal ring width + scribe line width
.18um , .13um的searring还好画些, 到了90下 不好画,都交给tsmc画了,
转弯的那个corner地方事情太多,什么L-mark等,
mpw的时候可以叫fab画的
我用的smic的180nm,130nm,65nm都画过。smic65提供了layout,所以觉得还是自己画比较好,至少知道边界留了多少。让FAB给你画,画多画少,DIE SIZE有差。
至于seal ring是不是接VSSD,比较纠结。接上了有利于IO driver和ESD,但又怕seal ring切时候被破坏产生的应力会通过连接METAL拉扯IO的metal。