谁知道ICC里做光刻仿真的功能在哪里？

自己顶一下

各位请出来指点下啊

iccompiler里面没有这个功能，最多只做dfm

哦 谢谢了 最近倒是找到一个DFM命令 detect_lcc_hotspot但是需要一个runset file
linuxluo请问用这个命令做出来的不是光刻仿真吗 会产生那样的hotspot图吗由于没有runset file 这个命令没有run过
请多多指导！

hotspot是不功率热点吗?

不是功率热点 是光刻热点 也就光刻有问题的地方 我那个命令不是detect_lcc_hotspot嘛！中间lcc指的是Lithography Compliance Checking。

学习了！

我也学习了。

的确是， LCC ， cmp相关吧， 没做过，太先进了

目前Litho或virtual CMP好像EDI做得比較好..
又併了一家專門做Litho的公司