半导体制作工艺过程中为何要利用光刻模拟软件
时间:10-02
整理:3721RD
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半导体制作工艺过程中,光刻工艺是一个非常重要的工序。利用光刻模拟软件具有以下优势:
1) 加快工艺发展速度
最大限度提高半导体制造商对现有曝光机的利用率
实现对光刻工艺战略的快速定义并认证,从而缩短进入市场的时间
2) 缩短量产化进程
对光刻结果提供可靠的预测
能够对光刻过程,结构设计及掩模进行校正
3) 提高生产率和增加收益
减少暇疵提高效益
缩小IC设计与成品之间的差距
有意了解详情请按以下方式联络:
联络方式:EMD, 电话:021-61021225, Email:emdservice@chinaECNet.com
1) 加快工艺发展速度
最大限度提高半导体制造商对现有曝光机的利用率
实现对光刻工艺战略的快速定义并认证,从而缩短进入市场的时间
2) 缩短量产化进程
对光刻结果提供可靠的预测
能够对光刻过程,结构设计及掩模进行校正
3) 提高生产率和增加收益
减少暇疵提高效益
缩小IC设计与成品之间的差距
有意了解详情请按以下方式联络:
联络方式:EMD, 电话:021-61021225, Email:emdservice@chinaECNet.com
谢谢啊。
I want to download !
是广告么?
这个是什么?
这个是fab里面用的吧
怎么用?流片之前跑?什么软件?