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关于metal的属性

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
我在tsmcrf.18工艺库中看到metal1到metal6分别具有dy和dg属性,不知道什么意思,请各位高人帮忙解决。谢谢。
比如:metal1 dy 是什么意思,
metal1 dg 是什么意思。
谢谢各位了。

dg属性的是拿来做连线
dy是该层metal 的dummy
版图做完后为了工艺的均匀性增加的METAL 不能拿来做连线

你好,ayowala。谢谢你的回答。还有个问题,能用dg属性的金属做dummy吗? 2# ayowala

dg--> drawing layer
dy--> dummy layer
dummy layer不能用来做连线,
但是MT(dg) layer可以用来增加Metal density ,不知道是否是楼上所说的拿来做dummy .....
仅供参考

虽然dg层可以增加DENSITY 但是 不能拿来做DUMMY
如果拿dg属性的metal做dummy 最后DRC结果是不允许有floating的 METAL
所以加dummy还是要用dy属性的

小编能共享tsmcrf.18的工艺库不

谢谢了

小妹认为用dg画dummy更好,因为DRC, LVS未必能检查出dy属性的错误。哈

请问, 你有这么做过么, 用dg画dummy.
DRC不会报错么? 如果报错的话. 是不理还是怎样?

我问了一下我主管, 貌似你这么做会让foundry抓狂的之所以分dg和dy, 是因为在生产时, 由于需要对dummy或者走线进行放大或缩小.
是曝光的需要, 具体细节我不懂.
以前是不分dg和dy的, 这样在分别缩放的时候需要做相当量的运算.
于是就想出了分dg和dy的方法.
如果你用dg画dummy的话, 可能会给他们带来额外的工作量.

学习了,没注意过这个问题

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