Sealing Ring用Top APD AL金属的问题
时间:10-02
整理:3721RD
点击:
这是某个量产芯片的Sealring,除了一般用到的有源区+metal层,还在外围加了一圈Top PAD AL金属,而且转角处没有走45°,比原有Sealring围的面积要大。请问这是什么考虑?
与有源区和其它金属完全叠在一起不更好吗,这样更省面积。
这层是金属? 要是pad open 层倒是见过。
不,原因是在制作时,该区域可能不完全是有时可能被破坏
是金属铝,用在PAD上的,其它层金属都是铜。
是指什么破坏?
应力三角区。四个角
我也觉的走45度更好 同迷惑。
之前说错了,正方行是开窗,不是金属层。
没搞明白
减少崩片的风险吧