设计规则中的的FEOL和BEOL是什么意思？

不知道啊！

设计规则文件中肯定有相关介绍的

把rule看仔细了啊

FEOL=front -end of layout
BEOL=back -end of layout
以contact来分界，形成device以前的工艺流程为FEOL，之后的（也就是互联）为BEOL。基本是这个意思吧！

FEOL: Front-end of line（器件部分）
BEOL: Back-end of line（互联）
制程以contact为界

3Q~

3Q~

学习了啊！谢谢！

FEOL ： front end of line ,before Contact ,that is NW , AA, PO , VTH, VTL,
ESD ,RPO , SP, SN..contact
BEOL : after Contact ,m1, v1 , m2 , v2 ,m3 , v3tillMtop ,passivation , AP ,RV ,
FEOL 就是contact以前的层次， BEOL 主要指金属互联层
这些是由于工艺顺序决定的

多谢小编亲自告知，明白了，谢谢~

真的很长知识

原来是以contact为分界的！学习了！

学习了。

有理！

虽然知道是以contact区分，但我总是记错搞反.总认为FEOL是金属互联。今天又复习一下。

5#正解

受益匪浅

学习了

十楼的解释是对的

0.5um FEOL/0.25um BEOL
这个0.5um是什么的尺寸?
0.25又是什么的尺寸?

这个layout也要懂吗！，看来很多要学习的。

0.5是前面做器件的最小尺寸，0.25是后面互连部分最小的尺寸。0.5应该是最小沟道长度，0.25是contact的最小宽度。

学习了

謝謝分享

学习了，谢谢了

学习了，灰常感谢

学习了~

谢谢了！

请问小编，如何知道某个工艺low-k还是high-k工艺?谢谢