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drc density 问题求解

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
现在公司项目需要过density ,我不太懂rule里面说的"window200,step20"是什么意思,在calibre中跑density时,结果会有文件显示你的版图密度具体数值是多少么?我在results文件和summary文件中没有找见。现在我用的density rule出现了如下几个问题,这是怎么回事呢?

window 200 , step 20 的意思应该是20ux10u的区域检查你的density,然后步长是20u,下面的几个问题看不太懂, 如果有个结果的截图就好了,版图密度的具体数值要记录在results file里面貌似需要rule file 里有rdb 语句吧

rab语句怎么写啊?

一般runset里边都会写好计算density的算法,只是有些默认没有打印density report而已。

比如你检查的rule是M3.D,就在rule file M3.D那个rule 的最后面加上rdb M3.D.density,到时候打开calibred rve 的时候点击那个有十字图样的图标应该就会有了

表示有点不懂这个rdb语句

并没有找到

没有的话可能就需要添加一些语句,能够check到density不够,至少里边已经有关于density的算法,只是还需要将其输出到文件,下面的给你参考:
M1.D {@ The Metal1 coverage must be larger than 15% over local 50um * 50um area step 25um within M1DMBK
DENSITY MET1_ALL LIM1_LAYINSIDE OF LAYER LIM1_LAY_CHECK < 0.15 WINDOW 50 STEP 25 BACKUPPRINT M1.15.DEN
[AREA(MET1_ALL)/AREA(LIM1_LAY)]
}

densityofM1+M2+M3

谢谢 我去研究一哈

density的查法最好能看一下svrf手册,除了check window之外有些时候和临近边界之后的检查模式也有关系

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