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JOBVIEW问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请问在MPW晶圆JOB时发现:
gdsJOB
M4M4
V5V5
M4M5
V5V6
这样是因为别的公司用到了M5或者是更高的metal layer,想问一下:
1.这样是不是说明光罩时我的芯片实际上有M5,但因为和M4跑的路径一模一样,所以对电路不会有影响,还是直接就没有M5层次?
2.在我量产的时候还会有M5 layer的MASK吗?

芯片或者说版图实际有没有V4/M5你应该自己最清楚,如果没有的话,量产是绝对不会出现这层的。
至于MPW为什么有这层,那是因为别人用到了,金属层你应该只能看到dummy pattern,via层次应该是全空白,如果你不看的话对你也完全没有影响,因为工艺上你的产品就完全不会用到这两块mask。
最终工艺做的时候很可能是M3以后lz芯片直接做topvia+topmet;而别人家的芯片在m3之后还要做v3+m4...所以你这块数据区也会填充dummy,保证其他家工艺没问题。
实际上,最终每片wafer都是几家产品混在一起的,最终只会拿到划好片的die。

谢谢您的回答,版图里有没有metal5我知道,但我不知道流片时会有metal5吗,因为jobview时发现metal5和metal4一样,via4和via3一样

不会有。foundry应该是采用了copylayer的操作吧,copy via应该是为了保证via刻蚀的时候尽量均匀,copy metal则是同时兼顾density和overlap via的drc。
放心,不论是mpw最终流片还是单芯片,你的产品过程中都不会有这两层光刻的出现。说到底,你这两张mask只是为了给别人做更高层metal产品工艺用的,你的数据只是起到了一个dummy的作用。

谢谢您的回答

需要问清楚是不是share wafer,tsmc是不share wafer的
比如mpw接了两个客户,一个用到M5, 一个只用到M4
如果是share wafer,那么两个客户的芯片都在一张wafer上,那么只用了M4的用户就要与用了M5的用户保持一致,就需要做copy metal
如果是不share wafer的,比如tsmc,他会做在做mask时候给两个在M4、M5的时候做两套,那么做wafer 的时候,整个wafer都是一个客户的,保证了每个客户不同的要求,和量产tapeout时mask一致
看你的情况很可能是前一种哦

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