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版图的结构

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
想了解下版图的层叠结构,各层之间的距离,层厚度,各层metal之间是否有介质填充?

可以看一下模拟版图的艺术这本书

请问下哪一章有提到的

应该自己找找,

你可以网上找下IC工艺流程,像fab里面的runcard上面都是根据每个layer都会测量氧化层厚度测量。一个简单产品从开始run到出货有一千多个步骤。

好像是第一二章吧,具体不记得了

芯片当然是一层层叠上去的,金属和金属之间当然有介质填充,为了保证芯片的可靠性和稳定性。
关于金属层厚度和介质层厚度,可以参考具体工艺的EDR,因为关系到寄生电容的计算,所以一般都会标明的。

多谢大家

当然有了,没有就短路啦!

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