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OPC block layer?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
SMIC工艺tapeout前要加OPC block layer,请问这个是什么层?干什么用的?

opc是光学近似修正, 一般180nm以下会对光刻图案做修正,使光刻机得到最大的曝光window,目的是使曝光刻蚀后的图案尽量与你layout设计中的一致。
opc block layer应该就是这个区域不需要做opc,比如ram/rom,从foundry拿来的bit-cell已经做过opc.

学到了多谢

学到了多谢

thx.

原来是这样,学习了

懂得蛮多的!

多谢2楼,解决了我的一个疑惑

学习中

allen_tang,您好!请问ESD mos上有没有必要做OPC?我看到GSMC .18工艺上有IO加了这一层

感謝您

smic .18工艺下,他们还是要求提供ram的opc block layer

看ram的文档 里边会有用到的哪些层 找到阻挡层就行了

学习了,OPC block layer和METAL block layer有相似的用法

ESD器件比较大,可以不用做OPC的

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