OPC block layer?
时间:10-02
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SMIC工艺tapeout前要加OPC block layer,请问这个是什么层?干什么用的?
opc是光学近似修正, 一般180nm以下会对光刻图案做修正,使光刻机得到最大的曝光window,目的是使曝光刻蚀后的图案尽量与你layout设计中的一致。
opc block layer应该就是这个区域不需要做opc,比如ram/rom,从foundry拿来的bit-cell已经做过opc.
学到了多谢
学到了多谢
thx.
原来是这样,学习了
懂得蛮多的!
多谢2楼,解决了我的一个疑惑
学习中
allen_tang,您好!请问ESD mos上有没有必要做OPC?我看到GSMC .18工艺上有IO加了这一层
感謝您
smic .18工艺下,他们还是要求提供ram的opc block layer
看ram的文档 里边会有用到的哪些层 找到阻挡层就行了
学习了,OPC block layer和METAL block layer有相似的用法
ESD器件比较大,可以不用做OPC的