0.35 rule 中 OPC CONTACT
时间:10-02
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如题 opc contact 是 什么 意思 ?
记得在做JDV时,有些cont/via附近会多出一些工整的dummy cont/via pattern,不知这些pattern是否是你所说的opc contact。曾经就此询问过mask house,回复说这些dummy pattern只是为了增加mask density(我推测和OPC有关),做process时会被删除,供参考。
就是做完OPC的ct啊,和opc metal一样,工艺的步骤而已,
谢谢,就是不知道什么是OPC.呵呵
OPC(optical proximity correction):光学邻近效应修正,是一种光罩修正技术。
常见的方法是将line-end pattern修成Hammer-head pattern,具体可从网上找相关资料了解一下