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tsmc 哪一层是不让加dummy的层

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
tsmcdesign rule里面有没有不让加所有dummy的层次,有odblk poblkdmxexcl有没有总的一个层次不让加dummy的

odblk和poblk貌似是阻挡od和po dummy的专用层次?
至于是不是有一层能阻止所有层dummy insert,就要看文档了。
mask tooling中应该有相关标识层次的注释,layermap文件和lvs rule里面应该也有相关注释,可以都找找看。
没用过tsmc的工艺,不是特别清楚文档格式。

dummy utility里面写了dmxexcl这个应该是加metal但是没有总的哪里不加dummypoly 和active和metal

如果没有的话,可能需要三层全部画上了,之前其他foundry的工艺也是有遇到有这种情况的。不过tsmc的工艺还是需要更有经验的大神们来科普一下。

谢谢! 一直用smic的还第一次用tsmc 做东西还希望楼下大神回复哈

没有,要分开加

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