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关于TSMC工艺中图层

时间:10-02 整理:3721RD 点击:

在画版图的时候,有些图层的作用不是很清楚,请问哪里可以查询到各个图层的作用?
比如说RPDUMMY图层什么意思?新手勿怪
工艺自带的工艺文件,我也查过了
只有一句话
DUMMY for POLY/OD resistor device
意思貌似在电阻上覆盖一层DUMMY?
这个DUMMY什么用?
求教
请问,有详细点的说明文档吗?

这个DUMMY是用来在最后验证DRCLVS的时候把这个区域识别为电阻用的

哦要是没有这个DUMMY,这个区域会被识别成什么呢?

就是PO/OD 电阻识别层, runset就知道了这个是电阻而不是gate,或者一般的od,
做lvs用的,
类似的还有RWDUMMY : nwell resistor 识别层
RMDUMMY : metal resitor 识别层

如果讲这么个多晶硅放在有源区上,再在多晶硅上放上RPDUMMY,那么会是判成MOS管,还是电阻呢?

不是这样理解的
RPDUMMY 只能要么盖住poly,要么盖住active,不可能既盖住active,又盖住poly,
tsmc在这点上没有分开, 要用户看layout来识别是poly还是aa电阻,
smic比如是RESP1表示poly 电阻, RESAA表示active电阻,

器件识别看LVS规则就一清二楚了。

如果这样的话,lvs会报错,告诉你这个器件是错误的,或者根本就找不到这个器件。

工艺文件中没有说明的一般没有意义

应该就是识别层,做LVS用的。识别层越多,LVS文件应该越好编。

说得对,这些图层只是一些用于验证的识别层 不会用于生产制造

design rule 第二第三章

LZ可以仔细看一下design rules,里面有详细介绍

下design rules,里面有详细介绍

学习了。

学习了

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