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关于SOI工艺的几个疑问,求解答~

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
有用过SOI工艺的朋友么,请教几个问题。
1、SOI工艺的高低压管怎么区分的?
2、低压管能否只连出三端(G、D、S)而不接衬底电位?(因为它本就是被物理隔开的,有无衬底电位都无所谓)
3、高压管应该都有自己的独立岛电位,那具有相同岛电位的高压管能否共用一个岛?
4、我从一张SOI工艺的芯片图上看到两个管子共用一端,但这一公共端从染色层看被分成了三段,再从M1层看上下两端短在一起连出去,中间一段单独连出去,这是怎么回事?我的猜测是上下两端是源,中间是衬底,两边的两端是各自的漏,不知正确否?
5、是否所有工艺的N阱染色染出来都是偏亮的,而P阱染出来是偏暗的?反向时若没有明显的衬底接VDD或GND,P型N型管子感觉有时不好区分得。

我现在也在做SOI,求几张照片欣赏一下

这个。弄不出来。

你们是什么工艺的 IBM?

关注该帖,求更新啊

不知道是不是我需要的

1、看你是啥高压、怎么个耐高压法。要是1.8v、3.3v这类的,类似于dual gate这类的层次就可以了。涉及到源漏端的,要有相对的高压结构。这些都是跟普通工艺类似的。
2、不能。衬偏效应依然存在。
3、design rule没说不行就可以。
以上是我蒙的。
4、5不知道。

衬底浮空,你的mos管怎么工作?不是有没有衬偏效应的问题,

嗯,写的时候有点儿短路了,感谢楼上纠正。

呃,反向吗? 看4、5是要猜测layer吧?

(1)有类似Dual Gate这样的层次来区分。
(2)nmos可以,因为可以减少能量泄露;pmos不可以,因为这样好像就没有VT。【这个不是很确定】
(3)不推荐,因为SOI工艺一般都是用于开关电路等噪声比较大的设计,你连一起不就是让噪声传递了么。
(4)和(5)没听懂啥意思

打算从事SOI行业,小编觉得如何

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