SOI的SUB
时间:10-02
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请问下SOI的SUB版图需要怎么画?
SOI工艺高压器件是一个器件一个岛,那个岛就相当于一个独立的衬底,低压器件可以合到一个岛里,衬底可以不用连,因为从某种程度说,SOI工艺是没有衬底的,它下面是被二氧化硅隔离了的。
谢谢,我也是觉得不用单独的处理SUB,之前一直是SMIC工艺的所以确认下