TSMC 16nm工艺CPO层是干嘛的

Cut PO作用就是切断PO

Cut 有時候 指 cont 或 via

16nm很复杂的。都是double mask。 CPO可以切断PO。因为切的更整齐，可以使间距更小。16nm好像还有COD吧。把OD切断。

如楼上所说，就是 Cut PO作用就是切断PO

能否科普一下double mask?谢谢

是的，就是切断poly的

就是PO和M1的mask有两层。光的衍射，间距太小，可能都是亮的。所以就用两个mask。
比如4根线1 2 3 4，会把13 高在mask1上，24高在mask2上。这样。只有PO和M1有。其他没有。
具体说明你搜搜。比我说的好。

tsmc16的版图还是比较好画的，多注意density的问题，还有压差还有stdcell，一般没什么大问题