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28nm 不建议使用环形 U形 L形

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
群里有人熟悉28nm的工艺么,在此工艺下建议不使用环形,U形,L形的形状,不仅仅是对gate的要求,这是为啥呢,个人感觉可能会是机械应力方面的考虑,但是没有理论依据。而且这个rule在DRC中貌似不check的。有木有懂的人赐教啊

dfm的需求吧, 越到小尺寸越多

是考虑到poly density 和uniformity 的因素
规则形状在做etching时候,yield会更好

规则图形更好这在layout中是共识,环形,L形啥的在seal ring,guardring是非常普遍的啊,貌似28以上rule中都没有特别对此做过要求

DFM基于哪些考虑对此作出要求的呢,可以再具体再深入么

和poly density 有啥关系啊

除了机械应力,还有一个靠谱点的推测是基于进行光刻时的光线衍射的考虑

已经告诉你原因了,不要再做主观推测了
poly stress是靠d-cesl来调整,不过只有在40GP里面见过,28nm中没有提到这回事
至于光照是衍射问题,在28nm的design rule中规定的小于一定width poly必须是由固定的poly space,所以没有什么可以讨价还价的
在40nm工艺中,是要求poly space在某个区间内,是为了CDU control
应该仔细读几遍design rule

这个不是特别针对poly的要求。

虽然我没做过,但我赞同你的观点


看看,学习一下。

涨涨人气

28nm、、、、、、、、、、、、

與良率有關
基本上沒得討價還價
等你做完FIN製成,再回來看28nm
一整個究佛心來著。

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