关于DNW层的作用
时间:10-02
整理:3721RD
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关于DNW,我想请教大家两个问题:
1.SMIC18射频工艺里,DRC rule 要求 SURNW 层必须 surrounding DNW,那还需要用 NW 再环绕 DNW四周吗?
DRC rule 里描述 SURNW --Dummy layer for DNW surrounding NW ,不是很明白?
2.使用DNW作为隔离作用时,需要使用 AA 层 作为接触 接出来吗?还是只需有这层即可?
多谢解惑!
1.RURNW 只是个dummy layer,可能DRC或者LVS里面会用到吧,实际上不制版,没有对应工艺步骤的
2.DNW要用NW引出,NW用N+AA引出
多谢楼上的
DNW 要用 NW 引出,是指 NW 要 环绕 DNW 一圈 吧,
DNW 是像 某些工艺里的 NBL 层 一样,存在于 某部分 位置 ,上面还有外延层,还是像 NW 那样 ,所画的矩形里从结深处到外延表面都被参杂 反型了呢?
smic的是深深的埋在泥土里的