请教:BN DNW 两层
疑问:从剖面图来看,BN和DNW都在同样的深度(都是和NW接触) 而且在功能上两者和NW组合都是起到隔离作用。只是一个出现在高压一个出现在射频工艺,
求教:BN 和 DNW 我可不可以认为他是相同的,只是在不同工艺叫法不同
这两层在制作的时候是否相同(制作顺序,掺杂浓度等)
谢谢,坐等大神回复!
它们是不一样的,同样的深度是因为BN和DNW要实现低阻连接才有意义。
功能上,BN将N型外延与P型衬底隔离;DNW提供接触。也就是说大多数的电子在正常工作时是这样移动的:N外延层->BN->DNW->N diffusion->contact->metal
制作顺序是 NBL->N型外延层->P+隔离区->DNW
不晓得它们的掺杂浓度是否一样,只确定NBL的掺杂浓度一定不比DNW低
我理解BN是和NBL一样的东西,是不是这样呢?
呃,这个问题也太宽泛了,每家的制程都差好多。
tsmc的NBL埋层完后,上面长LV-pwell,提供不同power电位的隔离,根本不需要额外的DNW。
是这样,B = buried
buried N_well 一般是包起來, 某些LOW VOLT會包在 buried N
,iso- hi volt mos 也靠 buried N well 隔.
deep N_well有些是 bipolar BCD process , 因為 collector 端須降低 Rc_contact resistor
所以會打 deep N_well .
簡單來說, 你的 device 如果是 Buried N_well 內或是 HVNW.. 不打 Deep n_well
會離 HVNW , buried N_well 有一小段距離, 阻抗會有,
降低方式就是 deep N_well 直接打下去.
bipolar process的BJT會分帶 deep N_well 和沒有 deep N_well NPNbjt
driving 能力護不同.
我只用过在DNW中的器件,不能做对比发言。不过是cmos在DNW中。呵呵