金属间介质层的厚度
时间：10-02
整理：3721RD
点击：
各位前辈，我想知道金属之间介质层的厚度，但是不知道在哪个工艺文件里会给，我看工艺给的design rule里面只给了金属层的厚度，但是没有金属层之间的介质层的厚度以及材料，这个在哪可以查到?
INTERCAP?
应该在电气特性那个pdf里面，类似下面的说明。
THANK YOU！
請問這是哪家的 Process 啊? M3 真是厚啊！