TB和DN的意义
时间:10-02
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TB--NWELL
DN--DEEP NWELL
为什么Pmos做好后要整个覆盖一层DN啊(工艺上),而且TB与DN的间距0.4,那么DN与TO(ACTIVE REGION)有要求没啊
DN--DEEP NWELL
为什么Pmos做好后要整个覆盖一层DN啊(工艺上),而且TB与DN的间距0.4,那么DN与TO(ACTIVE REGION)有要求没啊
第一个问题,DN 有两种解释 第一种, Deepn well 是CMOS 工艺中的埋层 。用来隔离衬底噪声,需要TB作为它的电位
,这种阱注入的深但是浓度不大,因为要在上面做P-WELL。
第二种,就是一个单独的井和NWELL一样只是比TB深(这个阱浓度我无法确认)。SMIC就有这样的工艺。
区分它们看一看PDK中有木有NPN,有NPN就是第一种,没有就是第二种。
第二个问题,TB和 DN 都会产生一些 proximity effect。在工艺中做的阱,先离子注入(因该是磷注入)之后的工序是推阱,退火。过程中注入的磷离子像墨水一样向四面八方扩散,在版图中看来就是上下左右扩散,DB TB实际面积都比你画的要大。 这两种井当然不能有任何连接啦。所以有间隔。
第三个问题,NWELL和TO 要不就是 enclose 要不是 space不太可能是 cut 或者cross
受用了,谢谢
何为proximity effect
spice要求是DN到TB是2.0,貌似没有什么DN到TO的间距,DN怎么定位呢?
DN解释的很详细啊,我看你提供这条DRC ,估计DN是 第一种作用,就是当N buried。
区分它们看一看PDK中有木有NPN,有NPN就是第一种
请问一下NPN是指三级管还是指层次