16nm CMOS器件本征延迟大概在什么量级？

跑了一个16nm CMOS反相器的hspice仿真（输出没有加负载），算出来输入到输出的延迟
是10的-11次方秒，有点不太确信本征延迟会这么小。
不同技术节点下CMOS器件的本征延迟的数据不知道哪里能查到？
求指导，谢谢！

我觉得算正常，今天学生本科论文中期答辩，被一老师质疑，他觉得太小，不可能。
如果有地方能查到不同技术节点下器件本征延迟，估计就能说服他了。

差不多，别说16，28也就这数，还看负载就是了，要查得查standcell里面invx延迟有个表格