国内目前有能做Finfet器件的研究机构吗
时间：12-12
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国内目前有能做Finfet器件的研究机构吗
中科院微电子所
早些年做过一些类似结构的fet。
中科院微电子所，我们实验室就专门搞这个的，正在往16nm尺寸奔