求助关于集成电路工艺设备

我们学校正在计划开办微电子专业，建工艺实验室，需要了解下集成电路工艺设备的型号价格之类的信息，主要包括：光刻，氧化、扩散、刻蚀、CVD（或者LPCVD）清洗等设备。
希望这方面的专家能告诉我下这方面的信息。

这玩意能租到？学校里能碰得到的怎么的也得1u以上的工艺了吧。

多谢，基本信息已经调查好了。以后要进一步信息或者买设备的话再联系你。

我有半导体工艺设备代理渠道，有意邮件联系。