回望中国集成电路技术研究50年
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标 题: 回望中国集成电路技术研究50年zz
黄令仪/岁月如流,58年大学毕业至今,半个世纪已逝去,而往事却历历在目,仿佛就
发生在昨天,一幕又一幕……
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走进微电子
56 年毛主席,周总理为了发展我国的科学事业,采取了四项紧急措施,其中之一就是
加速半导体学科的发展,清华当年即创办了半导体专业,57年李志坚教授从前苏联学成
回国,领导教研室,58年前苏联专家又来清华讲学,因此母校华中工学院(今华中理工
大学)即时派我到清华进修,主攻半导体器件,从此与微电子学结上了终身之缘。
我是与清华首届半零[1]
同学一起听课和学习的,全部课余时间在初创的实验室参加科研。我被分配到晶体管组
,进行合金P-N结的研究并自制一台晶体管参数测试仪。这种理论与实践高度结合的效
果非常好,李教授刚讲完能带论、P-N结,我们马上能在科研中看到它、测到它。这是
一个充满活力的集体,虽然学习、科研很紧张,但大家都非常愉快、融洽,它既培养了
我们的刻苦钻研精神,又培养了我们的团队精神。
60 年学毕返校,创建了半导体专业,讲授半导体器件与材料课,同时带领一批比我更
年青的教工和学生,风风火火地创建了实验室。什么都自己动手干,并研制出了半导体
二极管。当时居然得到心中敬仰的科学院院长、著名诗人、作家郭沫若的视察及鼓励,
大家非常兴奋。可是三年困难时期到了!粮食很紧张,国家制定了调整方针,学校对一
批刚上马的专业也调整了,半导体下马。62年10月按应届毕业生分配到了中科院计算所
二室101组(固体电路组)工作。一进实验室,四壁空空,只看见一个年青人,身穿白
大褂,蹲在一个电炉旁边,炉上有一个玻璃烧杯,里面有几块指甲盖大小的紫蓝色硅片
,他说:“这是要做二极管的”。我心里暗想,似曾相识!后来才了解到,本组是由59
年刚回国的青年科学家黄敞研究员领导,他还在北大讲授半导体器件课,52年美国哈佛
大学毕业后即从事晶体三极管的创业工作,应该属于晶体管的创始人之一。58年就在美
国电化学与半导体会议上发表过外延模型,并预言可以改善晶体管特性。当时组里正在
研究厚膜电阻译码器二极管矩阵(混合集成电路)以及外延技术,这在国内是领先的,
与世界亦是同步的。我立即被分配负责研制平面二极管,接着研制外延小功率开关三极
管,一切都很吸引人,开始埋头苦干。63年9月,我们组被命名为十一室(集成电路研
究室)。
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激情燃烧的日子---参加微型计算机研制
65 年8月,我们去参加了一个院里召开的大会,党委书记兼副院长张劲夫在台上来回走
动,激动地挥动双手说:“我提着脑袋把任务给你们要来了,你们要好好干 ”!,会
上宣布,成立计算所二部,亦称“156”,专门研制微型计算机。我们在台下,亦热血
沸腾!深知自己参加的工作,是国家所急需,是时代赋予的使命,心中既高兴,又紧张
!随后,很快从科大、清华调来了十来个毕业生,干部及设备也配齐了。特别是从东北
光机所三天之内调来了一个室。我被任命负责研制外延中功率开关三极管,这个任务难
度很大,初期做出的P-N结总是低压击穿,饱和压降也下不来,于是将全组排成三班倒
。大家都是随叫随到,正副组长则是12小时一轮换,常常一天干13-14个小时。黄敞先
生也亲自指导,教我不要局限一点,要全面考虑各种参数的全面配合,我们又重新设计
了版图……那时全组团结得如一个人,人人尽职尽责,指到哪,打到哪,真是激情燃烧
的日子!部室领导也抓的非常紧。科研处处长马庆魁就常站在实验室外面等着芯片,副
主任何绍宗晚上给我们送面条、面包……情景十分感人。主任赵松岩则遥望南楼,感慨
的说:“灯火辉煌156”。记得我们室有一个叫韩景春的同志,负责封装,既无资料更
无经验,只有不断地摸索才能前进,在他试验用什么化学药品时,没有高级设备去分析
,只靠舌头去尝,感到不对劲时,就跑到水龙头处马上用水冲。在这样的条件下,他把
研制出的组件硬是给封好了!76年他重病在身,已病危了,我去看他时,他已经神志不
清了,但还陆陆续续跟我说:“毛主席还活着,他正在深圳的上空走着呢!”听着听着
,我的泪水洒满了面颊。当时就是这样一群人,为了国家的需要,无私地奉献着自己的
青春乃至生命!既无职称、无荣誉,更无光环、奖金,却默默无闻地工作了一辈子,他
们什么也不求,只求祖国的富强!
不知道经过了多少不眠之夜,中功率管终于质量和数量全达标了,而且还帮助兄弟组做
了引导二极管。整体微型机研制进展也非常快,到了66年8月即研制成功了,还会唱东
方红!在2007年的一天,我逐个在一楼大厅仔细看了所历史长廊的画卷,突然一幅图片
在我面前出现,令我惊呆了!这就是“156”组件计算机!从来没有看到过啊!这就是
我们曾经用青春和热血灌溉过的156!这就是在浩瀚的夜空中追逐星空寻找的“156”!
心情顿时激动了起来。旁边的注释是:156 组件(集成电路)计算机是1966年8月研制
出的我国第一台自行研制的空间计算机,1966年国庆,向国家报喜,得到周总理的表扬
。此时,我已不禁热泪盈眶。
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创业路、路漫漫
69 年12月由于156迁内地,70年计算所又筹建集成电路研究室,71年1月1号我被调回计
算所,同时成立了十一室(集成电路研究室)由沈世刚与我负责,1973年7月启动了013
大型通用计算机的研制,是我国计算技术创始人之一的王正负责。他亲切地对我说:“
013机的咽喉是半导体通导存储器,由你们室负责研制”。面对着更年青的队伍,我心
中既兴奋又有点害怕,好在156精神依然在我们的血液中流动。虽然国外封锁厉害,很
难找到资料,但我们靠顽强的拼搏,一点一点的摸索,终于完成了任务,研制成功的存
储器性能稳定。013机76年也通过了鉴定,投入了使用,获1978年全国科学大会重大成
果奖,77 年所里将电路预研组调入我室,其组长是所知名的电路设计专家沈亚城同志
,而且任命吴几康研究员为室主任。他是53年回国的专家,156时,是十三室主任,专
门研究集成电路计算机(79-83年提升为计算所副所长)。任命沈世刚、我、沈亚城、
许新武为副主任,沈世刚协助吴几康抓总,我负责集成电路、器件及工艺、研制芯片,
沈亚城负责巨型机所用的电路设计,许新武为行政兼改造约1500M2 的芯片研制净化小
楼。室已初具规模了,77年12月,所承担了千万次大型机757任务,王正仍是负责人。
他说:“一定要给十一室一个项目”。因此我们分析当时各种不同电路的特性:ECL虽
然快,但功耗太大,CMOS虽然集成度高,功耗小,但因为Latch-up效应尚未彻底解决,
造成了成品率低,只剩下 I2L电路了,其规模可大,功耗亦小,而速度太低,我们从器
件原理、工艺原理的分析中,发明了P+-N-P+型高速I2L新结构,并研制成功了 256ROM
,与六室外设合作,成功用于757外设的打印机中,为757工程增加了独立自主研制成功
的新集成电路。1983年11月757千万次机通过了国家级鉴定,获得国家科学进步一等奖
,我们以“集成电路和工艺P+-N-P+型高速I2L新结构”的项目获得1980年院科技成果二
等奖,沈亚城负责的电路预研组的“高速低功耗ECL电路系统”的项目亦获1980年院科
技成果二等奖。
1983 年6月,所里将十一室命名为大规模集成电路室,当时已有6个组,约70-80人,而
且已入住改造成功的,位居南楼与北楼中的芯片研制净化小楼,正准备甩开手大干一番
。当时北师大有一个“浅结离子注入”项目,我们参加了,研究多晶硅掺杂发射极晶体
管及全离子注入晶体管,已有很大的进展。准备提供更高速度的电路(该项目后获北京
市科技成果二等奖),但在84年末,科技处周洁来问我:计算所要不要研究大规模集成
电路?令我大吃一惊!立即斩钉截铁的回答:计算所若不进行芯片研究,今后做计算机
设计的人只知道用芯片,里面是什么都不知道了,怎么能设计一台好的计算机呢?然而
不久,所领导正式把我们召去说:“所里经费太紧张,拿不出钱支持大规模集成电路的
研究……” 我知道他的意思了,一走出北楼门口,忍不住失声痛哭了,难道我们呕心
沥血十几年创建的研究室就这样结束?计算所今后设计计算机的人真的只能看到黑匣子
,而里面是什么都不懂了?难道计算所今后真的走向了“无芯”的未来?在万般无奈中
,我把最后一个同事安排好工作岗位后,毅然到微电子中心报到了,此时已是86 年年
底。87年3月6号,计算所正式撤消了大规模集成电路研究室,结束了这段无法忘怀的历
史。
微电子中心成立于1986年年底,又是一个初创的研究所,由三部分组成:半导体所及部
分计算所做集成电路的人以及109厂。一天科技处的人通知我去电子部开一个项目研究
会,主持人问我:你是哪个单位的?我如实回答,岂料他说:“你们科学院另有经费,
不必在这里挂了”,令人失望啊!后来我找到他的上级说:“我们不要经费,只要一个
项目,到时按时交帐,如何”?大概他被我的精神感动了,不仅给了项目还给了三万元
经费。自此,我就和我的合作者陈晓东同志投入了 CAD的研究,但此时我已50岁了,阅
读门阵列的描述语言,像读天书,一句一句啃,一咬牙,下决心:从零开始,甘于寂寞
,乐于清贫,从此潜心识规律,风华正茂更如前;三十年啊三十年,弹指一挥笑作别。
幸运的是:正好一家与日本人合资的厂家生产洗衣机,他们登门求教,希望帮助研制控
制洗衣机的芯片,因为日本人什么都给,唯独洗衣机的芯片设计不给,只卖芯片,奇贵
无比。我大胆地接下了这任务,开始全身心的用CAD方法设计了这块芯片,日日夜夜解
决难题,有时晚上甚至跳铁门的墙回家,终于研制成功。单位生产处已计划一年生产几
十万片。但日本人却降价到四块钱一片,若生产,要赔钱。我不禁感叹,难道我们工作
的价值就是逼别人降价?
碰巧有一天,遇到院秘书长候自强与院基金会主席徐正春,徐对我说:“夏培肃研究员
(后升院士)申请了一项“等时间差”研究课题的项目,交到香港某公司生产一年没有
做出来,现在交帐限期快到了,能否帮忙用三个月去解决一下”?因为这块芯片的物理
设计是我们做的,便满口答应,只提了一个条件,为二人在港生活费提供5000元港币。
双方当即拍板成交,谁知等到签证手续办完,即将离京时,正式合同才拿到,其中有一
条:若三个月做不出芯片,退回5000元生活费。天啊!卖了我也找不回这5000元啊!硬
着头皮,背水一战,只好向前冲!到了香港,恨不得一天掰成两天用,别人上班,我们
上班;别人下班,我们还在上班。总算在大限之日拿到了合格芯片,免了一劫!
89 年我被公派到美国一家公司进行合作。但怎么也没有料到,一生中最大的刺激迎面
而来。11月在加州拉斯维加斯有一个国际芯片的展览会,我们在那里参观了一周,成千
上万的摊位我几乎跑遍,都找不到我国的摊位。好不容易在拥挤的人群中看到了几个国
人手中拿着长城公司的塑料袋,我立马迎上去,亲切地问:“你们是来参展的吧”?“
不,是来参观的”心中猛然一震,没有希望找到了。只有我最明白,63年我国的集成电
路的研究水平与国外是同步的啊!为什么现在差距如此?内心的痛苦使我掉下了眼泪,
“琳琅满目非国货泪眼涟涟”。我暗自下决心,一定要设计一块高水平的芯片来参展,
洗刷耻辱。
90 年回国后,就潜心钻研各种集成电路的设计方法,从建立版图库,时序库开始,到
寄生参数对性能的影响,时钟树的生成,全局规划,时序驱动布线等等,全定制,标准
单元,宏单元的设计方法都研究过,用户包括华为的程序控制芯片,计算所的模糊控制
芯片等等。批准了两个发明专利,有关单位在2000年推荐我参加了一个在德国纽纶堡召
开的国际发明专利博览会。该会1949年创立,第一次邀请我国参加。大约全国去了32人
,别人摊位是一个公司,我们则是一个国,摊位小而拥挤,但毕竟突破了“零”。归国
的大巴走了约一半车程,被通知我送的专利被评为银奖,高兴之余,写了几句歪句:
神州之尊重泰山,
赤子荣辱轻鸿毛;
灵台无计四十载,
不觉青丝已成雪。
纽纶堡夜星光灿,
启明银座落中华;
十年耻痛今宵去,
芳草天涯迷人还。
但是兴奋之余,定下心来,仔细一想:真正用上的芯片在哪里?虽然在设计时,就像一
个老迈之年的人,用战战兢兢的双腿爬上了一个山峰,仰头一看,又一座更高的山峰堵
住了前进的路,然后一咬牙,又顽强的一步一步的爬上那更高的山峰,可是令人痛心的
是:芯片做出来了,没有用,锁在抽屉中,得了奖,又怎样?它只是一张纸。因此,当
江绵恒副院长视察微电子所时,召开了座谈会,在会上我说:“一个科技工作者最大的
痛苦,就是他用心血灌溉的珍贵芯片做出来了,没有用!”好心人对我说:“你只会干
活,不会说话”,可是,这是我的肺腑之言。
激情再次燃烧的日子---参加龙芯物理设计
2001 年12月左右,夏培肃院士的博士研究生林琦给我电话:他与李国杰所长要找我,
希望我能帮助计算所的CPU做物理设计,当时我有要事没有去,第二天由他带我去找了
唐志敏老师。一群年青人坐在一个大会议室中,唐介绍了情况,让我参观了他们研制成
功的用FPGA烧成的CPU芯片,并提出了要求。我说,请让我考虑三天。会下,我问韩承
德老师:你们有多少经费,回答是全室200万,但要留100万培养研究生,顶多只能拿
100万做CPU。我心中一震,软件费、投片费、人工费、返工费。这个经费要差一个数量
级啊!因此,不敢接,只怕半途而废,不了了之。然而,我内心深处,对计算所有着深
厚的感情,曾经苦苦挣扎,想为计算所的计算机出力,而环境却使我不得不离开,如今
……
到了2002年1月21日,我敲开了唐志敏老师办公室的门,开口就说:“我来和你们干CPU
物理设计”。他说:“热烈欢迎”!于是22日,我就在微电子所实验室说:新项目还在
申请,我准备抽这段时间到计算所参加CPU物理设计,谁愿去?当时杨旭、陈守顺、蒋
见花、左红军马上响应。在23号一大早,我们五人就进了龙芯实验室,开始上机熟悉环
境了。第一次和胡伟武老师见面。他说:“我要让全中国人都会设计CPU”!我心一震
,深深地被感动了!为中国人民服务,这是一生的追求!真是心有灵犀一点通,我们共
同的理想一下子溶在一起了。开始了我们之间长达六年之久的真诚合作。系统设计与物
理设计无缝地结合了。真正的心往一处想,劲往一处使。
对于从未做过 0.18μ工艺规范的人来说,设计时间这样短,要看的资料这样多,信号
完整性又是全新的概念,真是心有余而力不足了。那时,每一周,我都要召开会议,要
每一个人汇报自己做过的工作,而且请胡老师到会指导。(大约2-3月份,胡老师又派
了范宝峡、钟石强参加了进来,后来还有赵继业、李文等)。由于用 Cadence信号完整
性的仿真软件仿真后的结果指出:几乎一半以上的线网均有问题。我不敢告诉大家,怕
影响信心。迫于无奈,找到了Cadence负责亚洲区的外国专家咨询,他说:Cadence工具
对信号完整性的分析太悲观,不能用,要用CeltIC。天呀!为什么不早说?害得我们好
苦。此关一过,不仅掌握了方法,而且还独立找到了质量又好,耗时又短的修复信号完
整性方法,获得了一项批准的发明专利。在这一段合作的时间中,龙芯课题组的全体年
青人,尤其是胡老师那种对崇高理想的执着追求深深的感染着我,这里没有无聊的纷争
,而是一颗颗炙热的心,要把龙芯做出来,我感觉到一个激情燃烧的156时期又来到了
。因此下决心一定要把CPU的物理设计做成功。也就在这个时候,胡老师做了一个果断
的布置,要我在前面搭桥铺路,大家紧紧跟上,而且决定我们自己设计的物理设计要投
片。全体后端设计人员立刻紧张了。我回想起做757千万次计算机时,每一个元器件都
有备份,以防万一。于是和胡老师商量,要做两个芯片,1B 为确保的,以打通全部流
程为目标,时序与面积不太苛求;另一个1C为力争的,对时序要严,面积要小,1B由我
带,1C由胡老师带,并计划先加工1C,再加工1B,但临近流片时,一天一个冲击波,若
有心脏病者,肯定要趴下,尤其当1C在tape out的前一天,测试同志发现,扫描链没有
接出来,胡老师迅速决策:人工修改。两人一组,一个人操作,一个人旁边检查是否改
错,并调整先流1B,再流 1C。同时胡老师庄严而凝重的说:“这是一个历史时刻……
”后,在场的人一个个疲劳得面色苍白,只有眼睛充满血丝,嘴唇还有一点点红色的情
况下,依然抖擞精神开始战斗,我心中立刻有一种悲壮感。这不就是没有硝烟的战场吗
?这与当年奋战156的情景何其相似!就在我陷于沉思时,左红军神色慌张的找我:“
黄老师,1B有一块SRAM的电源地也没有联出来”,胡老师立刻下达命令:“你马上去处
理,这儿我管”!我跑过去一看,情况属实,大量布线占满了一块SRAM 的电源地线上
面,怎么办?急中生智,我把屏幕尽量做大,在布线中露出了缝隙,可以容纳局部的
Via孔通过,一点一点把电源地补齐了,1B顺利地交出了。
在经历千难万险的修正后,1C终于在第二天凌晨3点左右结束设计了,在胡老师的房间
,我说:就这样了,已尽力了!但此时此刻已错过了 TSMC最后上交的tape out的时间
,要怎样才能争取1C与1B同步加工?突然想到过去我曾在TSMC 流过两个芯片,都是通
过上海赖作琪先生联系的,何不找他再帮忙?胡老师马上拍板,要我乘7点的飞机飞上
海,9点在大雨中找到赖先生,他为我们的精神所感动,竭力去争取,从电话中传来对
方声音:“我们这里人仰马翻了”!眼看无希望了,通过阅读赖作琪先生的文档又发现
1C一个错误:PLL CUT CELL中少加了一个金属条,会造成ESD的问题,在通知所里改错
时,突然又传来了一个令人振奋的消息:有一个用户因时间问题未能完成设计,空出了
一个 MPW的位置,于是1C进线了,真是天道酬勤,上天不负有心人!
随后的日子,与胡老师一样,老做噩梦,这有错,那有错,醒来上机一查又没有错,心
惊肉跳的度日,两块芯片都加工,是我坚持的,心中沉甸甸的。如果做不出来,十万美
元啊!如何向计算所交代?接着脖子不能动了,大夫说,今后不要再用电脑了,躺在床
上整整一个多月,1C回来时,不敢去看,胡老师一个电话打到家:“ 成功了”!我顿
时心花怒放,不知怎的,脖子也不疼了,我完全沉浸在幸福之中,紧接着1B也成功了。
2003 年3月,微电子所与计算所正式签了合同后,由微电子所承担龙芯的宏单元库全定
制模块设计,我招了一批研究生开始3w6r寄存器堆的设计,但,无情的非典来了,而大
家的热情依然高涨,认真学习,努力工作,每天晚上十点,我都要赶人离开实验室,居
然还有两个人,杨献与陈为竟通宵达旦的干,我对他们说:若你们得了非典,我如何向
你们的父母交代?就在这样的非常时期,我们也按时完成了任务,龙芯2B成功了。
2004 年9月,在圆满的完成了龙芯2C中所用的2块寄存器,6种I/O PAD,14种电源地PAD
后,我向微电子所领导交代了全部工作及文档总结后,请求退休,因身心太疲劳,已67
岁了。回到了桂林老家,胡老师闻讯后,给我写了一封非常感人的信,要我继续为龙芯
的理想而奋斗,并派了他爱人晋红、龙芯骨干杨旭、钟石强在桂林找到了我,此时此刻
,我没有理由拒绝,跟他们回到了计算所,坚持在2D、2E、2F、2F2中完成了我所承担
的工作。
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感想
参加156及龙芯的工作,是我一生中最紧张,最艰苦的工作,然而也是心情最舒畅和感
到最幸福的工作,因为它是如此的相似,一样的激情满怀,一样的时代使命感,一样的
拼搏,一样的为国家的需要,一样的进展很快,关于这一点,除了精神因素以外,有一
个很重要的原因是两者组织结构合理、科学,系统设计无缝的与物理设计结合在一起,
一个领导,统一指挥,没有两层皮,这是一个不可逾越的客观规律,正好像在社会主义
中,要进行商品经济一样。另外,也使我联想到:如果计算所86年不彻底地解散大规模
集成电路室,留下几个种子,或许龙芯不至于15年后如此艰辛的从零开始做物理设计,
进展也许会更快。伟大的毛主席在陕甘宁边区经济极端困难的时刻,不是压缩部队,而
是把部队开到南泥湾,生产自救,极大的推动了革命的进程。
在我这一生中的直接领导和合作者中,最佩服的是胡老师,他不仅有一颗热爱祖国、献
身民族复兴的灵魂,而且能把这一理念去感染和传递给他领导的团队,有学识,有胆量
,有魄力,是一个有理想的人。他承受的压力与挑战太多了,有时也会流泪。有一次,
我以为他受不了了,而第二天依然乐观开朗的指挥工作,在一种很高的境界中过关了。
是的,当一个人为了崇高的理想,甚至不惜冒生命的危险时,对他就只有爱惜和帮助的
份了。我也很羡慕龙芯团队的年青人,一参加工作就有了这样好的项目去发挥自己的才
能,如张福新,在产业化最艰苦的日子里,临危受命,为了让龙芯能真正的用起来,杀
出了一条血路。高翔、张戈,年纪轻轻,已挑大梁。赵继业、杨旭、范宝峡、钟石强在
物理设计中已做出了很大的贡献等等。
在这个优秀的团队中,人才迅速成长,在我们这一代人中是梦寐以求的啊!我们的童年
是在抗日战争敌机的扫射中度过的,我就躲过防空洞,亲眼目睹过敌机炸死了两个在洞
口抽烟的无辜同胞。国破山河碎的痛苦,四处逃难的恐惧,已深深地印在了我们年幼的
心灵中。我们的少年时期,是在新中国欣欣向荣的景象中,沐浴着温暖的阳光中成长。
记得初中毕业后,因家贫,上不起学了,想了种种办法都落空了。无望之际,找了团委
书记梁汇全同志,他亲切的对我说:国家百废待兴,急需建设人才,你应该继续学习!
事后不仅派人到家说服母亲,还在居委会开出了免学费及助学金的证明。当我拿到这证
明时,眼泪夺眶而出。因此,在我心中最大的愿望是为祖国的强大而出力。今天,龙芯
的理想,就是增强中国国力,加强信息安全,为千万老百姓能用上龙芯而努力。愿以生
命的余辉与龙芯人一起,共同奋斗!
南楼、北楼今何在?
只是魂不改。
问君能有几多情?
恰似滚滚长江向东流。
[1]
清华大学半导体专业的第一届学生
黄令仪/岁月如流,58年大学毕业至今,半个世纪已逝去,而往事却历历在目,仿佛就
发生在昨天,一幕又一幕……
l
走进微电子
56 年毛主席,周总理为了发展我国的科学事业,采取了四项紧急措施,其中之一就是
加速半导体学科的发展,清华当年即创办了半导体专业,57年李志坚教授从前苏联学成
回国,领导教研室,58年前苏联专家又来清华讲学,因此母校华中工学院(今华中理工
大学)即时派我到清华进修,主攻半导体器件,从此与微电子学结上了终身之缘。
我是与清华首届半零[1]
同学一起听课和学习的,全部课余时间在初创的实验室参加科研。我被分配到晶体管组
,进行合金P-N结的研究并自制一台晶体管参数测试仪。这种理论与实践高度结合的效
果非常好,李教授刚讲完能带论、P-N结,我们马上能在科研中看到它、测到它。这是
一个充满活力的集体,虽然学习、科研很紧张,但大家都非常愉快、融洽,它既培养了
我们的刻苦钻研精神,又培养了我们的团队精神。
60 年学毕返校,创建了半导体专业,讲授半导体器件与材料课,同时带领一批比我更
年青的教工和学生,风风火火地创建了实验室。什么都自己动手干,并研制出了半导体
二极管。当时居然得到心中敬仰的科学院院长、著名诗人、作家郭沫若的视察及鼓励,
大家非常兴奋。可是三年困难时期到了!粮食很紧张,国家制定了调整方针,学校对一
批刚上马的专业也调整了,半导体下马。62年10月按应届毕业生分配到了中科院计算所
二室101组(固体电路组)工作。一进实验室,四壁空空,只看见一个年青人,身穿白
大褂,蹲在一个电炉旁边,炉上有一个玻璃烧杯,里面有几块指甲盖大小的紫蓝色硅片
,他说:“这是要做二极管的”。我心里暗想,似曾相识!后来才了解到,本组是由59
年刚回国的青年科学家黄敞研究员领导,他还在北大讲授半导体器件课,52年美国哈佛
大学毕业后即从事晶体三极管的创业工作,应该属于晶体管的创始人之一。58年就在美
国电化学与半导体会议上发表过外延模型,并预言可以改善晶体管特性。当时组里正在
研究厚膜电阻译码器二极管矩阵(混合集成电路)以及外延技术,这在国内是领先的,
与世界亦是同步的。我立即被分配负责研制平面二极管,接着研制外延小功率开关三极
管,一切都很吸引人,开始埋头苦干。63年9月,我们组被命名为十一室(集成电路研
究室)。
l
激情燃烧的日子---参加微型计算机研制
65 年8月,我们去参加了一个院里召开的大会,党委书记兼副院长张劲夫在台上来回走
动,激动地挥动双手说:“我提着脑袋把任务给你们要来了,你们要好好干 ”!,会
上宣布,成立计算所二部,亦称“156”,专门研制微型计算机。我们在台下,亦热血
沸腾!深知自己参加的工作,是国家所急需,是时代赋予的使命,心中既高兴,又紧张
!随后,很快从科大、清华调来了十来个毕业生,干部及设备也配齐了。特别是从东北
光机所三天之内调来了一个室。我被任命负责研制外延中功率开关三极管,这个任务难
度很大,初期做出的P-N结总是低压击穿,饱和压降也下不来,于是将全组排成三班倒
。大家都是随叫随到,正副组长则是12小时一轮换,常常一天干13-14个小时。黄敞先
生也亲自指导,教我不要局限一点,要全面考虑各种参数的全面配合,我们又重新设计
了版图……那时全组团结得如一个人,人人尽职尽责,指到哪,打到哪,真是激情燃烧
的日子!部室领导也抓的非常紧。科研处处长马庆魁就常站在实验室外面等着芯片,副
主任何绍宗晚上给我们送面条、面包……情景十分感人。主任赵松岩则遥望南楼,感慨
的说:“灯火辉煌156”。记得我们室有一个叫韩景春的同志,负责封装,既无资料更
无经验,只有不断地摸索才能前进,在他试验用什么化学药品时,没有高级设备去分析
,只靠舌头去尝,感到不对劲时,就跑到水龙头处马上用水冲。在这样的条件下,他把
研制出的组件硬是给封好了!76年他重病在身,已病危了,我去看他时,他已经神志不
清了,但还陆陆续续跟我说:“毛主席还活着,他正在深圳的上空走着呢!”听着听着
,我的泪水洒满了面颊。当时就是这样一群人,为了国家的需要,无私地奉献着自己的
青春乃至生命!既无职称、无荣誉,更无光环、奖金,却默默无闻地工作了一辈子,他
们什么也不求,只求祖国的富强!
不知道经过了多少不眠之夜,中功率管终于质量和数量全达标了,而且还帮助兄弟组做
了引导二极管。整体微型机研制进展也非常快,到了66年8月即研制成功了,还会唱东
方红!在2007年的一天,我逐个在一楼大厅仔细看了所历史长廊的画卷,突然一幅图片
在我面前出现,令我惊呆了!这就是“156”组件计算机!从来没有看到过啊!这就是
我们曾经用青春和热血灌溉过的156!这就是在浩瀚的夜空中追逐星空寻找的“156”!
心情顿时激动了起来。旁边的注释是:156 组件(集成电路)计算机是1966年8月研制
出的我国第一台自行研制的空间计算机,1966年国庆,向国家报喜,得到周总理的表扬
。此时,我已不禁热泪盈眶。
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创业路、路漫漫
69 年12月由于156迁内地,70年计算所又筹建集成电路研究室,71年1月1号我被调回计
算所,同时成立了十一室(集成电路研究室)由沈世刚与我负责,1973年7月启动了013
大型通用计算机的研制,是我国计算技术创始人之一的王正负责。他亲切地对我说:“
013机的咽喉是半导体通导存储器,由你们室负责研制”。面对着更年青的队伍,我心
中既兴奋又有点害怕,好在156精神依然在我们的血液中流动。虽然国外封锁厉害,很
难找到资料,但我们靠顽强的拼搏,一点一点的摸索,终于完成了任务,研制成功的存
储器性能稳定。013机76年也通过了鉴定,投入了使用,获1978年全国科学大会重大成
果奖,77 年所里将电路预研组调入我室,其组长是所知名的电路设计专家沈亚城同志
,而且任命吴几康研究员为室主任。他是53年回国的专家,156时,是十三室主任,专
门研究集成电路计算机(79-83年提升为计算所副所长)。任命沈世刚、我、沈亚城、
许新武为副主任,沈世刚协助吴几康抓总,我负责集成电路、器件及工艺、研制芯片,
沈亚城负责巨型机所用的电路设计,许新武为行政兼改造约1500M2 的芯片研制净化小
楼。室已初具规模了,77年12月,所承担了千万次大型机757任务,王正仍是负责人。
他说:“一定要给十一室一个项目”。因此我们分析当时各种不同电路的特性:ECL虽
然快,但功耗太大,CMOS虽然集成度高,功耗小,但因为Latch-up效应尚未彻底解决,
造成了成品率低,只剩下 I2L电路了,其规模可大,功耗亦小,而速度太低,我们从器
件原理、工艺原理的分析中,发明了P+-N-P+型高速I2L新结构,并研制成功了 256ROM
,与六室外设合作,成功用于757外设的打印机中,为757工程增加了独立自主研制成功
的新集成电路。1983年11月757千万次机通过了国家级鉴定,获得国家科学进步一等奖
,我们以“集成电路和工艺P+-N-P+型高速I2L新结构”的项目获得1980年院科技成果二
等奖,沈亚城负责的电路预研组的“高速低功耗ECL电路系统”的项目亦获1980年院科
技成果二等奖。
1983 年6月,所里将十一室命名为大规模集成电路室,当时已有6个组,约70-80人,而
且已入住改造成功的,位居南楼与北楼中的芯片研制净化小楼,正准备甩开手大干一番
。当时北师大有一个“浅结离子注入”项目,我们参加了,研究多晶硅掺杂发射极晶体
管及全离子注入晶体管,已有很大的进展。准备提供更高速度的电路(该项目后获北京
市科技成果二等奖),但在84年末,科技处周洁来问我:计算所要不要研究大规模集成
电路?令我大吃一惊!立即斩钉截铁的回答:计算所若不进行芯片研究,今后做计算机
设计的人只知道用芯片,里面是什么都不知道了,怎么能设计一台好的计算机呢?然而
不久,所领导正式把我们召去说:“所里经费太紧张,拿不出钱支持大规模集成电路的
研究……” 我知道他的意思了,一走出北楼门口,忍不住失声痛哭了,难道我们呕心
沥血十几年创建的研究室就这样结束?计算所今后设计计算机的人真的只能看到黑匣子
,而里面是什么都不懂了?难道计算所今后真的走向了“无芯”的未来?在万般无奈中
,我把最后一个同事安排好工作岗位后,毅然到微电子中心报到了,此时已是86 年年
底。87年3月6号,计算所正式撤消了大规模集成电路研究室,结束了这段无法忘怀的历
史。
微电子中心成立于1986年年底,又是一个初创的研究所,由三部分组成:半导体所及部
分计算所做集成电路的人以及109厂。一天科技处的人通知我去电子部开一个项目研究
会,主持人问我:你是哪个单位的?我如实回答,岂料他说:“你们科学院另有经费,
不必在这里挂了”,令人失望啊!后来我找到他的上级说:“我们不要经费,只要一个
项目,到时按时交帐,如何”?大概他被我的精神感动了,不仅给了项目还给了三万元
经费。自此,我就和我的合作者陈晓东同志投入了 CAD的研究,但此时我已50岁了,阅
读门阵列的描述语言,像读天书,一句一句啃,一咬牙,下决心:从零开始,甘于寂寞
,乐于清贫,从此潜心识规律,风华正茂更如前;三十年啊三十年,弹指一挥笑作别。
幸运的是:正好一家与日本人合资的厂家生产洗衣机,他们登门求教,希望帮助研制控
制洗衣机的芯片,因为日本人什么都给,唯独洗衣机的芯片设计不给,只卖芯片,奇贵
无比。我大胆地接下了这任务,开始全身心的用CAD方法设计了这块芯片,日日夜夜解
决难题,有时晚上甚至跳铁门的墙回家,终于研制成功。单位生产处已计划一年生产几
十万片。但日本人却降价到四块钱一片,若生产,要赔钱。我不禁感叹,难道我们工作
的价值就是逼别人降价?
碰巧有一天,遇到院秘书长候自强与院基金会主席徐正春,徐对我说:“夏培肃研究员
(后升院士)申请了一项“等时间差”研究课题的项目,交到香港某公司生产一年没有
做出来,现在交帐限期快到了,能否帮忙用三个月去解决一下”?因为这块芯片的物理
设计是我们做的,便满口答应,只提了一个条件,为二人在港生活费提供5000元港币。
双方当即拍板成交,谁知等到签证手续办完,即将离京时,正式合同才拿到,其中有一
条:若三个月做不出芯片,退回5000元生活费。天啊!卖了我也找不回这5000元啊!硬
着头皮,背水一战,只好向前冲!到了香港,恨不得一天掰成两天用,别人上班,我们
上班;别人下班,我们还在上班。总算在大限之日拿到了合格芯片,免了一劫!
89 年我被公派到美国一家公司进行合作。但怎么也没有料到,一生中最大的刺激迎面
而来。11月在加州拉斯维加斯有一个国际芯片的展览会,我们在那里参观了一周,成千
上万的摊位我几乎跑遍,都找不到我国的摊位。好不容易在拥挤的人群中看到了几个国
人手中拿着长城公司的塑料袋,我立马迎上去,亲切地问:“你们是来参展的吧”?“
不,是来参观的”心中猛然一震,没有希望找到了。只有我最明白,63年我国的集成电
路的研究水平与国外是同步的啊!为什么现在差距如此?内心的痛苦使我掉下了眼泪,
“琳琅满目非国货泪眼涟涟”。我暗自下决心,一定要设计一块高水平的芯片来参展,
洗刷耻辱。
90 年回国后,就潜心钻研各种集成电路的设计方法,从建立版图库,时序库开始,到
寄生参数对性能的影响,时钟树的生成,全局规划,时序驱动布线等等,全定制,标准
单元,宏单元的设计方法都研究过,用户包括华为的程序控制芯片,计算所的模糊控制
芯片等等。批准了两个发明专利,有关单位在2000年推荐我参加了一个在德国纽纶堡召
开的国际发明专利博览会。该会1949年创立,第一次邀请我国参加。大约全国去了32人
,别人摊位是一个公司,我们则是一个国,摊位小而拥挤,但毕竟突破了“零”。归国
的大巴走了约一半车程,被通知我送的专利被评为银奖,高兴之余,写了几句歪句:
神州之尊重泰山,
赤子荣辱轻鸿毛;
灵台无计四十载,
不觉青丝已成雪。
纽纶堡夜星光灿,
启明银座落中华;
十年耻痛今宵去,
芳草天涯迷人还。
但是兴奋之余,定下心来,仔细一想:真正用上的芯片在哪里?虽然在设计时,就像一
个老迈之年的人,用战战兢兢的双腿爬上了一个山峰,仰头一看,又一座更高的山峰堵
住了前进的路,然后一咬牙,又顽强的一步一步的爬上那更高的山峰,可是令人痛心的
是:芯片做出来了,没有用,锁在抽屉中,得了奖,又怎样?它只是一张纸。因此,当
江绵恒副院长视察微电子所时,召开了座谈会,在会上我说:“一个科技工作者最大的
痛苦,就是他用心血灌溉的珍贵芯片做出来了,没有用!”好心人对我说:“你只会干
活,不会说话”,可是,这是我的肺腑之言。
激情再次燃烧的日子---参加龙芯物理设计
2001 年12月左右,夏培肃院士的博士研究生林琦给我电话:他与李国杰所长要找我,
希望我能帮助计算所的CPU做物理设计,当时我有要事没有去,第二天由他带我去找了
唐志敏老师。一群年青人坐在一个大会议室中,唐介绍了情况,让我参观了他们研制成
功的用FPGA烧成的CPU芯片,并提出了要求。我说,请让我考虑三天。会下,我问韩承
德老师:你们有多少经费,回答是全室200万,但要留100万培养研究生,顶多只能拿
100万做CPU。我心中一震,软件费、投片费、人工费、返工费。这个经费要差一个数量
级啊!因此,不敢接,只怕半途而废,不了了之。然而,我内心深处,对计算所有着深
厚的感情,曾经苦苦挣扎,想为计算所的计算机出力,而环境却使我不得不离开,如今
……
到了2002年1月21日,我敲开了唐志敏老师办公室的门,开口就说:“我来和你们干CPU
物理设计”。他说:“热烈欢迎”!于是22日,我就在微电子所实验室说:新项目还在
申请,我准备抽这段时间到计算所参加CPU物理设计,谁愿去?当时杨旭、陈守顺、蒋
见花、左红军马上响应。在23号一大早,我们五人就进了龙芯实验室,开始上机熟悉环
境了。第一次和胡伟武老师见面。他说:“我要让全中国人都会设计CPU”!我心一震
,深深地被感动了!为中国人民服务,这是一生的追求!真是心有灵犀一点通,我们共
同的理想一下子溶在一起了。开始了我们之间长达六年之久的真诚合作。系统设计与物
理设计无缝地结合了。真正的心往一处想,劲往一处使。
对于从未做过 0.18μ工艺规范的人来说,设计时间这样短,要看的资料这样多,信号
完整性又是全新的概念,真是心有余而力不足了。那时,每一周,我都要召开会议,要
每一个人汇报自己做过的工作,而且请胡老师到会指导。(大约2-3月份,胡老师又派
了范宝峡、钟石强参加了进来,后来还有赵继业、李文等)。由于用 Cadence信号完整
性的仿真软件仿真后的结果指出:几乎一半以上的线网均有问题。我不敢告诉大家,怕
影响信心。迫于无奈,找到了Cadence负责亚洲区的外国专家咨询,他说:Cadence工具
对信号完整性的分析太悲观,不能用,要用CeltIC。天呀!为什么不早说?害得我们好
苦。此关一过,不仅掌握了方法,而且还独立找到了质量又好,耗时又短的修复信号完
整性方法,获得了一项批准的发明专利。在这一段合作的时间中,龙芯课题组的全体年
青人,尤其是胡老师那种对崇高理想的执着追求深深的感染着我,这里没有无聊的纷争
,而是一颗颗炙热的心,要把龙芯做出来,我感觉到一个激情燃烧的156时期又来到了
。因此下决心一定要把CPU的物理设计做成功。也就在这个时候,胡老师做了一个果断
的布置,要我在前面搭桥铺路,大家紧紧跟上,而且决定我们自己设计的物理设计要投
片。全体后端设计人员立刻紧张了。我回想起做757千万次计算机时,每一个元器件都
有备份,以防万一。于是和胡老师商量,要做两个芯片,1B 为确保的,以打通全部流
程为目标,时序与面积不太苛求;另一个1C为力争的,对时序要严,面积要小,1B由我
带,1C由胡老师带,并计划先加工1C,再加工1B,但临近流片时,一天一个冲击波,若
有心脏病者,肯定要趴下,尤其当1C在tape out的前一天,测试同志发现,扫描链没有
接出来,胡老师迅速决策:人工修改。两人一组,一个人操作,一个人旁边检查是否改
错,并调整先流1B,再流 1C。同时胡老师庄严而凝重的说:“这是一个历史时刻……
”后,在场的人一个个疲劳得面色苍白,只有眼睛充满血丝,嘴唇还有一点点红色的情
况下,依然抖擞精神开始战斗,我心中立刻有一种悲壮感。这不就是没有硝烟的战场吗
?这与当年奋战156的情景何其相似!就在我陷于沉思时,左红军神色慌张的找我:“
黄老师,1B有一块SRAM的电源地也没有联出来”,胡老师立刻下达命令:“你马上去处
理,这儿我管”!我跑过去一看,情况属实,大量布线占满了一块SRAM 的电源地线上
面,怎么办?急中生智,我把屏幕尽量做大,在布线中露出了缝隙,可以容纳局部的
Via孔通过,一点一点把电源地补齐了,1B顺利地交出了。
在经历千难万险的修正后,1C终于在第二天凌晨3点左右结束设计了,在胡老师的房间
,我说:就这样了,已尽力了!但此时此刻已错过了 TSMC最后上交的tape out的时间
,要怎样才能争取1C与1B同步加工?突然想到过去我曾在TSMC 流过两个芯片,都是通
过上海赖作琪先生联系的,何不找他再帮忙?胡老师马上拍板,要我乘7点的飞机飞上
海,9点在大雨中找到赖先生,他为我们的精神所感动,竭力去争取,从电话中传来对
方声音:“我们这里人仰马翻了”!眼看无希望了,通过阅读赖作琪先生的文档又发现
1C一个错误:PLL CUT CELL中少加了一个金属条,会造成ESD的问题,在通知所里改错
时,突然又传来了一个令人振奋的消息:有一个用户因时间问题未能完成设计,空出了
一个 MPW的位置,于是1C进线了,真是天道酬勤,上天不负有心人!
随后的日子,与胡老师一样,老做噩梦,这有错,那有错,醒来上机一查又没有错,心
惊肉跳的度日,两块芯片都加工,是我坚持的,心中沉甸甸的。如果做不出来,十万美
元啊!如何向计算所交代?接着脖子不能动了,大夫说,今后不要再用电脑了,躺在床
上整整一个多月,1C回来时,不敢去看,胡老师一个电话打到家:“ 成功了”!我顿
时心花怒放,不知怎的,脖子也不疼了,我完全沉浸在幸福之中,紧接着1B也成功了。
2003 年3月,微电子所与计算所正式签了合同后,由微电子所承担龙芯的宏单元库全定
制模块设计,我招了一批研究生开始3w6r寄存器堆的设计,但,无情的非典来了,而大
家的热情依然高涨,认真学习,努力工作,每天晚上十点,我都要赶人离开实验室,居
然还有两个人,杨献与陈为竟通宵达旦的干,我对他们说:若你们得了非典,我如何向
你们的父母交代?就在这样的非常时期,我们也按时完成了任务,龙芯2B成功了。
2004 年9月,在圆满的完成了龙芯2C中所用的2块寄存器,6种I/O PAD,14种电源地PAD
后,我向微电子所领导交代了全部工作及文档总结后,请求退休,因身心太疲劳,已67
岁了。回到了桂林老家,胡老师闻讯后,给我写了一封非常感人的信,要我继续为龙芯
的理想而奋斗,并派了他爱人晋红、龙芯骨干杨旭、钟石强在桂林找到了我,此时此刻
,我没有理由拒绝,跟他们回到了计算所,坚持在2D、2E、2F、2F2中完成了我所承担
的工作。
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感想
参加156及龙芯的工作,是我一生中最紧张,最艰苦的工作,然而也是心情最舒畅和感
到最幸福的工作,因为它是如此的相似,一样的激情满怀,一样的时代使命感,一样的
拼搏,一样的为国家的需要,一样的进展很快,关于这一点,除了精神因素以外,有一
个很重要的原因是两者组织结构合理、科学,系统设计无缝的与物理设计结合在一起,
一个领导,统一指挥,没有两层皮,这是一个不可逾越的客观规律,正好像在社会主义
中,要进行商品经济一样。另外,也使我联想到:如果计算所86年不彻底地解散大规模
集成电路室,留下几个种子,或许龙芯不至于15年后如此艰辛的从零开始做物理设计,
进展也许会更快。伟大的毛主席在陕甘宁边区经济极端困难的时刻,不是压缩部队,而
是把部队开到南泥湾,生产自救,极大的推动了革命的进程。
在我这一生中的直接领导和合作者中,最佩服的是胡老师,他不仅有一颗热爱祖国、献
身民族复兴的灵魂,而且能把这一理念去感染和传递给他领导的团队,有学识,有胆量
,有魄力,是一个有理想的人。他承受的压力与挑战太多了,有时也会流泪。有一次,
我以为他受不了了,而第二天依然乐观开朗的指挥工作,在一种很高的境界中过关了。
是的,当一个人为了崇高的理想,甚至不惜冒生命的危险时,对他就只有爱惜和帮助的
份了。我也很羡慕龙芯团队的年青人,一参加工作就有了这样好的项目去发挥自己的才
能,如张福新,在产业化最艰苦的日子里,临危受命,为了让龙芯能真正的用起来,杀
出了一条血路。高翔、张戈,年纪轻轻,已挑大梁。赵继业、杨旭、范宝峡、钟石强在
物理设计中已做出了很大的贡献等等。
在这个优秀的团队中,人才迅速成长,在我们这一代人中是梦寐以求的啊!我们的童年
是在抗日战争敌机的扫射中度过的,我就躲过防空洞,亲眼目睹过敌机炸死了两个在洞
口抽烟的无辜同胞。国破山河碎的痛苦,四处逃难的恐惧,已深深地印在了我们年幼的
心灵中。我们的少年时期,是在新中国欣欣向荣的景象中,沐浴着温暖的阳光中成长。
记得初中毕业后,因家贫,上不起学了,想了种种办法都落空了。无望之际,找了团委
书记梁汇全同志,他亲切的对我说:国家百废待兴,急需建设人才,你应该继续学习!
事后不仅派人到家说服母亲,还在居委会开出了免学费及助学金的证明。当我拿到这证
明时,眼泪夺眶而出。因此,在我心中最大的愿望是为祖国的强大而出力。今天,龙芯
的理想,就是增强中国国力,加强信息安全,为千万老百姓能用上龙芯而努力。愿以生
命的余辉与龙芯人一起,共同奋斗!
南楼、北楼今何在?
只是魂不改。
问君能有几多情?
恰似滚滚长江向东流。
[1]
清华大学半导体专业的第一届学生