台阶仪的分辨率能到多少

时间：12-12 整理：3721RD 点击：

我想量一个大约20nm的刻蚀深度，
普通的台阶仪能否量的出来？分辨率能到多少。
谢谢。

台阶变化上看200埃应该没问题。但抖动可能有几十挨。做好减震，安静环境也许好一点，但沟槽宽度小的话，下不去针尖就测不准了。其实原子力镜也好不了很多，降低环境噪声还重要一点