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gate上得poly一般最大能到多少?

时间:12-11 整理:3721RD 点击:
画大管子得时候要分足够多得finger这样才能确保每个finger上得poly
不会过大防天线效应烧掉gate oxide,我现在96/19.2得管子分了5个finger
每个poly finger 19.2*19.2大,是不是有点太大了...

天线是metal上聚集电荷烧gate吧
gate特别大,天线岂不是特安全
反了吧

好好看书。。。gate大了etch gate的时候就会把gate ox先烧了,你说的metal那是后话了

你并联几个行不?金属连起来
不过你说的gate过大哪里有讲?

用金属并联就是单个finger小了,这是防poly自己天线得唯一办法
可以参考christopher得两本ic mask design

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