gate上得poly一般最大能到多少?
时间:12-11
整理:3721RD
点击:
画大管子得时候要分足够多得finger这样才能确保每个finger上得poly
不会过大防天线效应烧掉gate oxide,我现在96/19.2得管子分了5个finger
每个poly finger 19.2*19.2大,是不是有点太大了...
不会过大防天线效应烧掉gate oxide,我现在96/19.2得管子分了5个finger
每个poly finger 19.2*19.2大,是不是有点太大了...
天线是metal上聚集电荷烧gate吧
gate特别大,天线岂不是特安全
反了吧
好好看书。。。gate大了etch gate的时候就会把gate ox先烧了,你说的metal那是后话了
你并联几个行不?金属连起来
不过你说的gate过大哪里有讲?
用金属并联就是单个finger小了,这是防poly自己天线得唯一办法
可以参考christopher得两本ic mask design