台阶仪？

要求不是太精确的话，还可以。
我还是觉得SEM拍张照片更直观。

呵呵 谢谢
SEM我们这边有些时候要排队，稍微麻烦。。。。。
因为要我拟一个要买的设备，放在超净间想啥时候测就啥时候测  
我想测膜厚啊，MEMS槽深之类的
主要有些MEMS槽是陡直的，担心针几十微米的直上直下问题
谢谢阿泰哈

我们刻过的一些东西，比如介质，几百纳米的台阶吧
是可以扫出来的。能看到很陡的边缘
但是如果槽特别窄，就不知道了，1um宽度的浅槽扫过没问题，没搞过更窄的。

不行的
台阶仪针尖半径10多微米呢，以前有人测过深槽，卡住了，带着片子走

那着这样说来，只有通过划片，照侧面的SEM了？
还有其他方法否？
谢谢

阿泰
按照后面哈工二TX的说法，那你1um宽度的槽连针尖都放不下捏
那你测量的数据岂不是有问题？

针尖的尖端应该更细，而且介质很薄，所以还是能看到。我们不要那个数据的，只是扫过，能看到台阶边缘。
如果深的话，针尖是很粗，估计不行。