如何查看工艺参数？

弱问一下， 在设计时， 已知工艺库（如TSMC18 MS 1P6M）， 怎么确定其阈值电压， 电
子迁移率， 栅氧化层电容等呢？从什么文档里面可以查到这些参数？
谢谢

#########################################
#
#                 TSMC13RF
#########################################
nch_rf bsim3v3
u0=0.06172818      vsat=92367.39       vth0=0.3731874        toxnrf=2.8100e-09
                                
pch_rf bsim3v3
        
u0=0.01419055      vsat=7.5100910e+04  vth0=-0.3007786       toxprf=2.8500e-09          
knp =
  1.0e-003 *
    0.7582    0.1719
##################################################################################
nch_rf25 bsim3v3

vth0=0.6844962     u0=0.03633325       vsat=8.6448090e+04    toxnrf_25=5.8300e-09    
pch_rf25 bsim3v3  
vth0=-0.6431916    u0=0.01144613       vsat=98625.01         toxprf_25=5.8700e-09        

谢谢，能再详细点么？这是什么文件里面看到的？我是刚学习IC设计的。