请教：只做离子注入，不退火的话

分别注入硼和磷，注入后杂质的激活比例是多少？比如1E13的剂量，有多少是注入后就active的？我指的是注入后不经过任何高温激活过程的情况。
另外捎带问个问题：注入后用紫外线照射，能起到激活杂质的作用吗？

恐怕你的表面缺陷太多，致使期间不工作都有可能

我只是要做个电阻，大电阻，不是什么有源器件

  大计量注入有self-anneal。1E13显然不属于这个范围。UV激活不了，要不大家一边光刻一边还把激活做了。

大剂量指的什么量级？E15以上？self-anneal可以激活多少杂质？