关于离子注入，求助
时间：12-12
整理：3721RD
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请问北京这边哪里可以做离子注入（对硅进行磷掺杂）？
最好可以提供网址（包括如联系方式，仪器介绍等信息）
谢谢！
最好可以提供网址（包括如联系方式，仪器介绍等信息）
谢谢！
中科院半导体所可以，就在林大里，直接去看看好了。
半导体所有，微电子所的注入机不知道最近是不是还在用
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