MEMS 半导体工艺
时间:10-02
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可以讨论讨论MEMS所用的半导体工艺特点么?
感觉MEMS和IC的工艺分析方法,应该有很多相似之处
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IC 工艺主要要加工成器件特性,而MEMS工艺是加工成微型传感器和微执行器。所以MEMS要加工成三维形状,而目前IC是平面型的工艺。以上只是我的理解。希望有更深刻的理解呈现在网站上来共享。
