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UMC 153nm shrink process

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
各位大神,UMC 153nm shrink process有做过么?初次接触可以shrink的工艺,而且是改版UMCBCD 180nm工艺的版图,应该需要注意什么?

这里是180nm shrink 85%后得到153nm的。

没啥注意的吧,按照0.18画,fab生产的时候自己shrink的,
看看文档吧

我看文档,说是Analog部分不建议shrink,需要先放大118%,这样的话是不是整个Chip都要放大118%,只有需要shrink的部分(比如PR部分)不放大吧?

对,analog部分sizeup 118% , 数字部分不动,

其实也无所谓, 90% shrink对analog部分有多大影响呢,不大的,

由于是修改版图,很多线都是边贴边画的,放大后很多贴边的线会断开,lvs过不了,这种问题应该怎样解决?
还有就是放大后Contact、Via都会变大,还有一些Layer(比如NPLUS)会出现误差,这样DRC也过不了啊。

直接看看doc吧,不同fab shrink rule/flow
还确实有差别,

谢谢你!

好问题,点赞

对你们所说的表示,看不懂啊

好问题,给你顶一下,

谢谢分享,谢谢

好问题,点赞

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