请教几个关于dummy的问题
时间：10-02
整理：3721RD
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dummy OD，Dummy poly Dummy TCD 是什么意思?他们之间的区别呢?
od是diffusion，active啊， 就是active area，源区，做管子的区域，
dummy poly就是dummy gate啊，
tcd cell， technology critical dimension cell， tsmc为了测试工艺稳定性的
一般隔个几百um 放一个， 测试工艺用的，
围观学习中，呵呵
好像没见过这个tcd cell哎
新手路过
二楼牛啊
dummy 是什么意思，加这些dummy作用是什么
代工厂对dummy 有一定的要求，也就是金属密度有一定的上下限。工艺上用到的
围观学习中，呵呵
围观学习
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