什么是dummy层

是为了fundry生产过程中弥补 density 的不足而加的。

补密度的

看用途，有些是增加金屬密度，有些是提供LVS所需之辨識用。

density not banlance

为了增加density的

涨见识了！

就是金属的密度有一定的规则 需要满足DFM

学习了

工艺啊

dummy层还有这用法啊

放在金属层中，用于生产过程中规定的满足金属密度。

dummy 可以是金属 POLY 也可以是晶体管 看具体用途，正如4楼所说，有时候增加那些层次只是做LVS或者DRC用的 实际不做MASK。增加金属密度是因为生产过程中有CMP这一个工序

长知识了！

呵呵，学习了

增加金属密度的均匀性。这样就不会在打磨的时候，出现过度打磨局部区域。

作用‘：牺牲自己保护他人。

Foundry厂都有对金属密度的规定，使其金属密度不要低于一定的值，以防在芯片制造过程中的刻蚀阶段对连线的金属层过度刻蚀从而降低电路的性能。加入Dummy Metal是为了增加金属的密度。

CPM用的,保证WAFER的平整度

学习了。

请教高手啊我要加的话 手动怎么加呢有这个单元吗如果没有 是不是手动加金属啊有什么规则吗

学习一下

同问一下，除了满足metal density的规则，还有没有其他的作用，比如隔离噪声、decoupling之类的?

长知识了。

受教了

学习了。