请教关于endcap的作用
时间:10-02
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请教各位大侠小编,
endcap的真正作用是什么?为什么所以的block都需要加endcap,TCD cell可不可以不加endcap?
endcap的真正作用是什么?为什么所以的block都需要加endcap,TCD cell可不可以不加endcap?
endcap 不是所有工艺都需要加的,一般TSMC要求,工艺在40nm一下需要加endcap。加endcap的主要目的是避免或者是缓和PSE,OSE所造成的影响,意思就是不能让poly和OD周围太空旷,不对称,密度太低。主要是从DFM上考虑的。
对,主要是会影响器件的性能,
TCD 等cell 也可以包一圈 endcap啊,按理说所有core区域的macro 都要包一圈endcap的,
以保护其他周围区域的stdcell的 性能,
请教大侠,OD是什么意思呢?
氧化层
Oxide Diffusion(氧化擴散曾)
据说40nm及以下需要加endcap