初学后端 不是很理解PSE 和 OSE 求解.谢谢

好像是保证了od的一致性和密度吧，具体不记得了

可以具体一点吗?非常感谢 这方面的资料好像比较少 或者是我不知道 如果有好书推荐 希望可以给我推荐推荐。

没细究这个问题，只记得要加row endcap，

小编您好，我也是初学后端，弱弱的问一句，PSE和OSE是什么吗?

额。poly space effect & oxide space effect...加endcup可以避免effect。 具体原理我也不知道。

好的，非常感谢~有您的提示我就可以找资料查查看了

重要的资料在tsmc 文档里面，如果你能看的话，