现在65nm 40nm的sub是什么结构的？
时间：10-02
整理：3721RD
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是高掺杂（p+）sub上长低掺杂的外延层?还是低掺杂（p-）sub上长高掺杂的外延层?
谁有相关的资料啊，先谢谢了
谁有相关的资料啊，先谢谢了
一般是epi sub， 带外延的，